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米兰体育米兰体育官方网站(MILAN SPORTS)赔率最高在线投注平台(访问: hash.cyou 领取999USDT)专利摘要显示,本申请提供的一种翻盖机构及晶圆检测装置,翻盖机构包括第一连接板、第二连接板及至少一组铰链结构,铰链结构包括第一连接件、第二连接件及球轴承组件,球轴承组件包括沿轴向依次设置的第一轴盖、球形连接部及第二轴盖,球形连接部的相对两端分别与第一轴盖与第二轴盖固定连接;第一连接件的第一端固定连接第一连接板,第一连接件的第二端连接于第一轴盖及第二轴盖,第二连接件的第一端固定连接第二连接板,第二连接件的第二端设有与球形连接部相适配的球形腔,第二连接件的第二端套设于球形连接部的外周侧,且转动连接于球形连接部;由于球形连接部能够带动第二连接件在左右方向上能够一定的摆动自由度,提高翻盖机构在盖合状态下的水平度。